研究团队开发硒化锡基材料新薄膜沉积工艺 新的 DNA 折纸技术有望推动医学进步 研究表明基因在空间上组织以实现有效的 mRNA 剪接 天体物理学家发现了一种寻找第一颗恒星的新方法 新型流体系统推动人造血管和生物医学应用的发展 新研究揭示了 β-MoB2 单晶的声子特性 用激光光谱探测镎的原子结构 在层状超导化合物内观察到交替三角形电荷密度波域 衰老时钟如何走动:新研究指出细胞的随机变化 研究人员利用模糊光 3D 打印高质量光学元件 trp氨基酸缩写(trp氨基酸) 及时雨宋江的故事(及时雨宋江) 女贞树苗图片(女贞树) 上海大型人才市场招聘会(大上海人才网) 什么是幸福最经典的句子(什么是幸福) 海平面上升速度为每年多少毫米(海平面上升速度) 北京人工智能行业大模型创新应用大赛公布结果,度小满排名第二 步长制药助推中药新质生产力登上新台阶 蒲姓百家姓排名第几(蒲姓) 蒲松龄聊斋志异全集(蒲松龄聊斋志异) 2021全国法制宣传日活动主题(2019全国法制宣传日主题) 俄狄浦斯王的故事详细(俄狄浦斯王的故事) 吉林省艺术学院2024招生简章(吉林艺术学院是几本) 携程:“五一”节后旅游产品价格下降明显 适宜错峰出游 第二届“赤水河奖”发布,珍酒荣获产区质量奖等奖项 如何看复星医药疫苗事件后的这份年报 天宇股份:原料药业务营收规模萎缩,发力制剂业务能挽救业绩吗? 支付宝买保险被“录屏”?客服回应:绝不会侵犯用户隐私 普利制药收到立案告知书,受损投资者可索赔 云南白药五名高管被查震动业内 王明辉炒股两年亏25亿致业绩过山车 帮助别人的作文400字六年级(帮助别人的作文400字) believe怎么读英语怎么说(believe怎么读) 科沃斯净利降64%与营收背离 两年狂砸百亿销售费拖累业绩 夏七夕和陆齐铭小说(夏七夕和陆齐铭) 上海农商银行的“独董专业户”和违规独立董事 胡友松有后代吗(胡友松第二任丈夫) it行业包括什么日语(IT行业包括什么) 采菊东篱下悠然见南山的作者情感(采菊东篱下悠然见南山的作者) 新加坡国立大学申请条件研究生(新加坡国立大学申请条件) 百融云创回购计划加速落实 机构看好中长期吸引力 新加坡国立大学申请难度(新加坡国立大学申请) 初三中考时间(今年中考时间) 曹操出行,渴望成年 富友支付转战港交所:曾被最高检点名 欲穷千里目更上一层楼的哲理 橡胶底的鞋子防滑吗(橡胶底) 妈妈我爱你歌曲(妈妈爱上我) 本地连接和宽带连接各是什么意思?(本地连接和宽带连接有什么区别) 儿童感统训练原则(儿童感统训练方法) 自闭症孩子感统训练方法(感统训练方法)
您的位置:首页 >行业观察 >

研究团队开发硒化锡基材料新薄膜沉积工艺

导读 研究小组开发了一种用于硒化锡基材料的新薄膜沉积工艺。该工艺采用金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 方法,能够在 200°C 的低温下在大...

研究小组开发了一种用于硒化锡基材料的新薄膜沉积工艺。该工艺采用金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 方法,能够在 200°C 的低温下在大晶圆表面沉积薄膜,实现卓越的精度和可扩展性。

该研究成果于2024年4月9日在线发表于Advanced Materials 。

MOCVD 是一种尖端技术,它利用气态前体以出色的精度进行化学反应,从而可以在半导体中使用的晶圆级材料上沉积薄膜。

得益于这种创新方法,该团队能够在晶圆单元上合成厚度均匀、厚度仅为几纳米的硒化锡材料(SnSe2 、SnSe)。

为了实现低温沉积,团队策略性地将配体分解和薄膜沉积的温度部分分开。通过调整锡和硒前体的比例以及携带前体的氩气的流量,他们能够精细地控制沉积过程,从而获得高结晶度、规则排列以及受控的薄膜相和厚度。

无论使用何种基材,这种先进的工艺都可以在约 200°C 的低温下均匀沉积薄膜,展示了其大规模用于各种电子应用的潜力。该团队成功地将这种方法应用于整个晶圆,在两种类型的硒化锡薄膜中保持了化学稳定性和高结晶度。

该研究小组由UNIST半导体材料与器件工程研究生院和材料科学与工程系的Joonki Suh教授领导,与中国科学院的Feng Ding教授、世宗大学的Sungkyu Kim教授合作大学和UNIST 的Changwook Jeong 教授。

标签:

免责声明:本文由用户上传,如有侵权请联系删除!