导读 关于光刻机与刻蚀机是一回事吗,光刻机和刻蚀机的区别这个问题很多朋友还不知道,今天小六来为大家解答以上的问题,现在让我们一起来看看吧
关于光刻机与刻蚀机是一回事吗,光刻机和刻蚀机的区别这个问题很多朋友还不知道,今天小六来为大家解答以上的问题,现在让我们一起来看看吧!
1、刻蚀相对光刻要容易。
2、光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
3、“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。
4、原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
5、“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。
6、然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
本文分享完毕,希望对大家有所帮助。
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