导读 安特卫普大学(比利时)的一个跨学科研究小组成功地对扫描电子显微镜 (SEM) 内产生的等离子体进行了原位研究。这标志着首次在用等离子体处...
安特卫普大学(比利时)的一个跨学科研究小组成功地对扫描电子显微镜 (SEM) 内产生的等离子体进行了原位研究。这标志着首次在用等离子体处理样品的同时实现实时 SEM 成像。该研究发表在《先进材料技术》杂志上。
等离子体通常被描述为电离气体或物质的第四态，具有广泛的应用。例如，在半导体行业，它们在用于制造计算机芯片的光刻工艺中发挥着关键作用。
他们还对绿色化学应用产生了浓厚的兴趣，例如将CO2和CH4转化为增值化学品或可再生燃料、用于绿色肥料生产的N2固定，以及生物医学应用，例如癌症治疗、伤口愈合，或消毒。此外，等离子体也是广泛研究的主题，以获得更基本的见解。
等离子体应用的许多相关过程发生在微观水平上，其观察通常需要超出传统光学显微镜能力的高分辨率图像。因此，本研究使用了扫描电子显微镜(SEM)。
这种显微镜使用高能电子的聚焦光束，在感兴趣的材料表面上进行扫描。通过收集电子束产生的各种信号并逐像素编译它们，可以生成样品的高度放大图像，直至纳米范围。
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