导读 关于mocvd设备组成示意图，mocvd设备这个问题很多朋友还不知道，今天小六来为大家解答以上的问题，现在让我们一起来看看吧！1、MOCVD是在气
关于mocvd设备组成示意图，mocvd设备这个问题很多朋友还不知道，今天小六来为大家解答以上的问题，现在让我们一起来看看吧！
1、MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。
2、MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
3、MOCVD的组成：因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。
4、因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。
5、不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的。
6、 一般由 源供给系统 、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统。
7、以上内容参考：百度百科—MOVCD。
本文分享完毕，希望对大家有所帮助。
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