导读 关于光刻胶成分及合成方式,光刻胶成分这个问题很多朋友还不知道,今天小六来为大家解答以上的问题,现在让我们一起来看看吧!1、光刻胶(p
关于光刻胶成分及合成方式,光刻胶成分这个问题很多朋友还不知道,今天小六来为大家解答以上的问题,现在让我们一起来看看吧!
1、光刻胶(photoresist,也作光致抗蚀剂,光阻),是一种由聚合物树脂(resin),光敏化合物(photoactive compound)和溶剂等混合而成的胶状液体,从成份上来讲,都是碳基有机化合物。
2、树脂,作为粘合剂的聚合物混合物,决定了光刻胶的机械和化学性能;光敏化合物,决定了光刻胶的光敏感度:当受到特定波长能量束作用后,光敏化合物会分解或者聚合,激发化学反应,使受辐照区域在某些特定溶液中的溶解特性发生改变,或溶解性被增强或变得更难溶,进而形成光刻胶图案;溶剂,则可以改变光刻胶的粘度,从而在合理的转速范围内得到所要的厚度。
本文分享完毕,希望对大家有所帮助。
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