mems是什么意思（mems是什么意思）

关于mems是什么意思，mems是什么意思这个问题很多朋友还不知道，今天小六来为大家解答以上的问题，现在让我们一起来看看吧！

1、mems即微机电系统（英语：MicroelectromechanicalSystems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

2、比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。

3、　　　　微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。

4、它是以半导体制造技术为基础发展起来的。

5、MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。

6、但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。

7、它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。

本文分享完毕，希望对大家有所帮助。

标签：